Proizvodnja poluvodiča industrijski je proces koji zahtijeva ekstremnu preciznost, s oslanjanjem na ultračistu vodu koja obuhvaća osnovne faze kao što su čišćenje vafera, fotolitografija, jetkanje i kemijska mehanička planarizacija (CMP). Vodeni sustavi visoke čistoće za mikroelektroničku industriju moraju ispunjavati stroge kriterije, uključujući otpornost veće ili jednake 18,2 MΩ · cm i ukupni organski ugljik (TOC) manji od ili jednake 1 ppb. Bilo koji zaostali ioni ili čestice mogu smanjiti prinos čipa. Koristeći svoju globalno vodeću tehnologiju keramičke membrane i sve-membranski proces, taihe zaštitu okolišaes visoko stabilna rješenja zaPoluvodički sustav reverzne osmozeS, učinkovito podržavajući sigurnost kvalitete vode u lancima opskrbe poluvodičima.
Tehnološki proboj All-Membranskog procesa
Taiheova temeljna tehnologija-"All-Membranski proces za liječenje koncentrata reverzne osmoze i cirkulaciju otpadnih voda"-bio je certificiran od strane udruženja Kineske membrane kao "međunarodno naprednu razinu". Ova tehnologija koristi specijalizirane cjevaste keramičke ultrafiltracijske membrane (GM) jedinice za zamjenu tri konvencionalna koraka prethodne obrade ("alkalna oborina + filtracija pijeska + organska ultrafiltracija") u jednom procesu, značajno pojednostavljujući radne tokove istodobno povećavajući sposobnosti protiv ulaganja. Keramičke membrane, proizvedene iz nanokompozita, pokazuju otpornost na zagađenje, snažnu toleranciju alkalija i visoki tok. U ultračiji voda za proizvodnju poluvodiča, oni značajno smanjuju operativne troškove i smanjuju tvrdoću otpadnih voda.
Zaštitne prijave u ključnim fazama procesa
- Wafer Cleaning & CMP:Sustav reverzne osmoze ultra-natemeljine vode mora u potpunosti ukloniti čestice i metalne ione kako bi se spriječile oštećenja površinskih vafelja. Taiheova prethodna obrada keramičke membrane učinkovito presreće čestice veće ili jednake 0. 1 µM, pružajući nisku SDI (indeks gustoće sile) za narednu poluprovozu reverzne sustave osmoze, osiguravajući rad dugotrajnog stabilnog membrana.
- Fotoresističko ispiranje:Fotolitografija je vrlo osjetljiva na TOC. Taiheov sustav sinergira keramičke membrane s ultraljubičastom sterilizacijom za kontrolu TOC-a unutar 1 ppb, udovoljavajući zahtjevu "nulte tolerancije" za organski u fotoresističkim ispiranjem.
- Etching & CMP otpadna voda ponovna upotreba:For high-turbidity CMP wastewater, its ceramic membrane units demonstrate strong impact resistance, treating high-salinity wastewater with hardness >1.200 mg/l po stopi oporavka od 95%, drastično smanjujući potrošnju slatke vode.
Inteligentizacija i zelena praksa s niskim udjelom ugljika
Taihe integrira DCS (distribuirani upravljački sustav) integrirane upravljačke sustave u ultračistim sustavima za pročišćavanje vode, omogućujući praćenje parametara kvalitete vode u stvarnom vremenu i optimizaciju energije. Njegov "All-Membranski postupak za obnovljenu opremu za ponovnu uporabu vode" naveden je u tehnologiji zelenog nisko-ugljikovog tehnologije provincije Shandong, smanjujući emisiju ugljika pojednostavljenim procesima koji se usklađuju s potrebama održivog razvoja u sektoru poluvodiča.
Zaključak
Kao napredni procesi (npr. 5nm, 3nm) eskaliraju zahtjeve kvalitete vode,Poluvodički sustav reverzne osmozeS mora kontinuirano gurati granice čistoće. Nastavljajući na svojoj tehnologiji keramičke membrane "međunarodno napredne", taihe ubrzava istraživanje i razvoj u visokog fluksnih keramičkih ultrafiltracijskih membrana za elektroničku primjenu vode visoke čistoće, dodatno pojednostavljujući prethodnu obradu i poboljšavajući učinkovitost vode u proizvodu. Buduće inovacije osnažit će kineski poluvodički lanac opskrbe, uspostavljajući pouzdanije tehnološke referentne vrijednosti s nižim ugljikom za vodene sustave visoke čistoće za industriju mikroelektronike.